氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。
氦质谱检漏常见问题
氦质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器,那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢?今天科仪创新的小编就和大家来一起总结一下!
一、为什么用氦气作为示踪气体?其他气体可以吗?(1)在空气中含量低(只有5 ppm),环境本底低
(2)惰性气体不易1燃,不易1爆对环境没有污染,不与其他物质反应,可以混合到任意浓度
(3)无毒,可以用在食品工业
(4)在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
(5)比空气轻,运动速度快
(6)气体分子很小,可以穿过微小的泄漏孔
(7)其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。
(1)被测系统应尽量清洁,干燥,无油
(2)如果测量条件发生变化(温度),需要重新对检漏仪做内部较准
(3)氦气比空气轻,喷氦法检漏应注意方向
(4)尽量不要使用密封脂(油脂会大量吸附氦气)
(5)不要向环境释放大量氦气
(6)真实的漏率信号应当是快速上升的信号,相对缓慢下降的信号
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注:采用国际单位制时,漏率单位为:Pa?m3/s。
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(1)便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中,往往会因为产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的,掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar。
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